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      碳化硅陶瓷材料的應用

      2019-01-21 14:41

      SiC陶瓷不僅具有優良的常溫力學性能,如高的抗彎強度、優良的抗氧化性、良好的耐腐蝕性、高的抗磨損以及低的摩擦系數,而且高溫力學性能(強度、抗蠕變性等)是已知陶瓷材料中Z佳的。熱壓燒結、無壓燒結、熱等靜壓燒結的材料,其高溫強度可一直維持到1600℃,是陶瓷材料中高溫強度Z好的材料??寡趸砸彩撬蟹茄趸锾沾芍衂好的。

      碳化硅陶瓷由于其高硬度的特點而廣泛用于耐磨機械零件中,特別是球磨機中的研磨介質(磨介)。球磨機中所用的磨介對研磨效率有著重要的影響,其基本要求是硬度高、韌性好,以保證研磨效率高、摻雜少的要求。我公司生產的SIC-1型碳化硅陶瓷磨介適合于普通球磨機中使用,氯化氫合成系統具有硬度高、強度高、價格適中的特點。而SIC-2型碳化硅陶瓷磨                 

      研磨盤是半導體行業中超大規模集成電路用硅片生產的重要工藝裝備。通常使用的鑄鐵或碳鋼研磨盤其使用壽命低,熱膨脹系數大。在加工硅片過程中,特別是高速研磨或拋光時,由于研磨盤的磨損和熱變形,使硅片的平面度和平行度難以保證。

      氯化氫合成系統

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